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半导体工艺真空主要用在蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀， 真空吸附，测试设备，临沂水环真空泵，真空清扫等等键合工序，半导体生产制造过程中容易产生以及有毒的物质气体，会对生产及人员安全造成威胁，因此，半导体水环真空泵应用时需要注意的几个安全事项：　　1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道，避免超压：

半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，其成分可能极为复杂，如SiH4与O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解会形成HCl；假设是油封式机械泵，这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质，就可能堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵性能，造成压力上升或超压，一点中提到的危险性也更大。所以需要及时的清洗，并在必要的时候设置过滤设备。。

二、调节结构　　1、真空泵是通过装在进气管在进气管路上的阀门来调整真空度和气量，所以当作为压缩机使用时，可用安装在排气管路上的阀门调节压气装置的压力。　　2、当被压缩气体因为其使用条件不允许排出时，应在进气管和排气管之间装有导气管，其直径与阀门直径相同，临沂真空泵维修，以便在限度内调节气量与压力。　　三、汽水分离器的安装　　汽水分离器如果需改变安装位置时，分离器的联接管路不宜过长，转弯不能过急，临沂真空泵，否则水和气在管道中的流动损失将增加，从而增加了泵排气端的压力，山东临沂真空泵，这样就降低了气量和真空度增加了功率消耗。　　水环式真空泵会在汽水分离器的帮助之下，进行抽气工作，因此汽水分离器对它来时是必不可少的，因此我们要学会它的安装方法，如果嫌麻烦我们也可以邀请专门的人员进行安装。

3、密封性：　　设备对泵油的密封性有很大的要求，泵油需要有一定的粘度，在高温的条件下泵油要有良好的密封性，使得泵内的泵油具有较低的温差，在低温的条件下可以使机组快速转动。　　2BV水环式真空泵被广泛用于石油、化工、制药、食品、制糖工业等领域，所以对泵油有着很多的要求，选择正确的时期、正确添加方式才能保证正常的运转，平时在进行使用的时候多多注意。